3-Dimensional Process Simulation

Sprache: Englisch

Verlag: Springer Vienna, Springer Okt 2011, 2011

3709174309 / 9783709174302

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This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Whereas two-dimensional semiconductor process simulation has achieved a certain degree of maturity, three-dimensional process simulation is a newly emerging field in which most efforts are dedicated to necessary basic developments. Research in this area is promoted by the growing demand to obtain reliable information on device geometries and dopant distributions needed for three-dimensional device simulation, and challenged by the great algorithmic problems caused by moving interfaces and by the requirement to limit computation times and memory requirements. A workshop (Erlangen, September 5, 1995) provided a forum to discuss the industrial needs, technical problems, and solutions being developed in the field of three-dimensional semiconductor process simulation. Invited presentations from leading semiconductor companies and research Centers of Excellence from Japan, the USA, and Europe outlined novel numerical algorithms, physical models, and applications in this rapidly emerging field. 212 pp. Englisch.

Bestandsnummer des Verkäufers 9783709174302

Titel
3-Dimensional Process Simulation
Autor
J. Lorenz
Verlag
Springer Vienna, Springer Okt 2011
Veröffentlichungsjahr
2011
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
3709174309
ISBN-13
9783709174302
Artikelgewicht
375 Gramm
Abmessungen
244x170x12 mm

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