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Reseña del editor
This is the first definitive book on rapid thermal processing (RTP), an essential namufacturing technology for single-wafer processing in highly controlled environments. Written and edited by nine experts in the field, this book covers a range of topics for academics and engineers alike, moving from basic theory to advanced technology for wafer manufacturing. The book also provides new information on the suitability or RTP for thin film deposition, junction formation, silicides, epitaxy, and in situ processing. Complete discussions on equipment designs and comparisons between RTP and other processing approaches also make this book useful for supplemental information on silicon processing, VLSI processing, and integrated circuit engineering.
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- VerlagAcademic Press
- Erscheinungsdatum1993
- ISBN 10 0122476905
- ISBN 13 9780122476907
- EinbandTapa dura
- SpracheEnglisch
- Anzahl der Seiten440
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Rapid Thermal Processing: Science and Technology
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RAPID THERMAL PROCESSING
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Zustand: Sehr gut. Zustand: Sehr gut - Gepflegter, sauberer Zustand. Außen: verschmutzt. Innen: Seiten eingerissen. Aus der Auflösung einer renommierten Bibliothek. Kann Stempel beinhalten. | Seiten: 430 | Sprache: Englisch | Produktart: Bücher. Bestandsnummer des Verkäufers 1341559/202
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