Plasma Etching: An Introduction - Softcover

 
9780123959669: Plasma Etching: An Introduction
Softcover
ISBN 10: 0123959667 ISBN 13: 9780123959669
Verlag: Academic Press, 2016

Inhaltsangabe

Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Suitable for researchers, process engineers, and graduate students, this book introduces the basic physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching mechanisms. Throughout the volume the authors offer practical examples of process chemistry, equipment design, and production methods.

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Verlag
Academic Press
Erscheinungsdatum
2016
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0123959667
ISBN 13 
9780123959669
Einband
Taschenbuch
Anzahl der Seiten
490
Herausgeber
Manos Dennis M.
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Nicht verfügbar
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