Inhaltsangabe
Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Suitable for researchers, process engineers, and graduate students, this book introduces the basic physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching mechanisms. Throughout the volume the authors offer practical examples of process chemistry, equipment design, and production methods.
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Plasma Etching: An Introduction
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Zustand: Near Fine. Hardover, [xii], 476 pages. Near Fine condition. Size 9.25"x6.25". "Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Suitable for researchers, process engineers, and graduate students, this book introduces the basic physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching mechanisms. Throughout the volume the authors offer practical examples of process chemistry, equipment design, and production methods." Book has very light exterior shelfwear. Previous owner's name on front fly, else Fine condition, clean and unmarked. Bestandsnummer des Verkäufers 009818
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Plasma Etching: An Introduction (Plasma -- Materials Interactions)
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Academic Press (edition 1), 1989
ISBN 10: 0124693709
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Plasma Etching: An Introduction (Plasma -- Materials Interactions)
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Plasma Etching: An Introduction
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Plasma Etching: An Introduction (Plasma : Materials Interactions)
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Plasma Etching: An Introduction (Plasma -- Materials Interactions)
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