Verwandte Artikel zu Ultra-Clean Technology Handbook: Volume 1: Ultra-Pure...

Ultra-Clean Technology Handbook: Volume 1: Ultra-Pure Water - Softcover

Ohmi, Tadahiro

 
9780367402341: Ultra-Clean Technology Handbook: Volume 1: Ultra-Pure Water
Softcover
ISBN 10: 0367402343 ISBN 13: 9780367402341
Verlag: Taylor & Francis, 2020

Inhaltsangabe

Evaluating the effectiveness of conventional wet processes for cleaning silicon wafers in semiconductor production, this reference reveals concrete measures to improve ultrapure water quality reviewing the structure and physical characteristics of ultrapure water molecules.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Über die Autorin bzw. den Autor

Tadahiro Ohmi is a Professor in the Electronics Department of the Faculty of Engineering at Tohoku University, Sendai, Japan. Dr. Ohmi is a member of the Institute of Electrical and Electronics Engineers, the Electrochemical Society, the Institute of Electrical Engineers (Japan). and the Japanese Applied Physics Society. among others. He received the B.S. degree (1961). the M.S. degree (1963), and the Ph.D. degree (1966) from the Tokyo Institute of Technology. Japan.

„Über diesen Titel“ kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
Taylor & Francis
Erscheinungsdatum
2020
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0367402343
ISBN 13 
9780367402341
Einband
Taschenbuch
Anzahl der Seiten
944
Kontakt zum Hersteller
Taylor and Francis
gpsr@taylorandfrancis.com

Taylor & Francis Verlag GmbH, Kaufingerstraße 24
München
80331
Deutschland