Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics: Proceedings of Symposium d on Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics of the 1993: ... Society Symposia Proceedings, Band 42) - Hardcover

Symposium D On Beam Processing And Laser Chemistry; Katz, Avishay; Nissim, Yves I.

 
9780444819833: Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics: Proceedings of Symposium d on Integrated Processing for Micro- And Optoelectronics of the 1993: ... Society Symposia Proceedings, Band 42)
Hardcover
ISBN 10: 0444819835 ISBN 13: 9780444819833
Verlag: Elsevier Science Ltd, 1994

Inhaltsangabe

These proceedings focus on the technology application driving forces for multichamber approaches to semiconductor process sequences, otherwise called cluster tools or integrated processing and present research results upon which these manufacturing technologies are built.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
Elsevier Science Ltd
Erscheinungsdatum
1994
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0444819835
ISBN 13 
9780444819833
Einband
Gebundene Ausgabe
Anzahl der Seiten
320
Herausgeber
Rubloff G. W.
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
Nicht verfügbar