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Inhaltsangabe
Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.
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Über die Autorin bzw. den Autor
Brian Chapman is the author of Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching, published by Wiley.
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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching
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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching
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Glow Discharge Processes : Sputtering and Plasma Etching
Verlag:
Wiley & Sons, Incorporated, John, 1980
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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching
Verlag:
John Wiley & Sons, New York, 1980
ISBN 10: 047107828X
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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching
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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching
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Hardcover. Zustand: Acceptable. Connecting readers with great books since 1972. Used textbooks may not include companion materials such as access codes, etc. May have condition issues including wear and notes/highlighting. We ship orders daily and Customer Service is our top priority! Bestandsnummer des Verkäufers S_391437266
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Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching
Verlag:
Wiley-Interscience, 1980
ISBN 10: 047107828X
ISBN 13: 9780471078289
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Glow Discharge Processes : Sputtering and Plasma Etching
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Glow Discharge Processes : Sputtering and Plasma Etching
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