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Specialty Gas Analysis: A Practical Guidebook - Hardcover

 
9780471185987: Specialty Gas Analysis: A Practical Guidebook
Hardcover
ISBN 10: 0471185981 ISBN 13: 9780471185987
Verlag: Wiley-VCH, 1997

Inhaltsangabe

The semiconductor industry is moving toward gas-phase reagents, increasing the relative importance of gas purity. Anyone who deals in the manufacturing of these devices needs to understand the technology available for modern gas analysis. Most specialty gas vendors have some re in place for quality assurance, but these usually are very simplistic and outdated methods. No book was available that gave guidance on providing accurate, reproducible data on specialty gas products. This is the first book that provides an introduction to current analytical methods and equipment for the analysis of high- purity gases used in the semiconductor industry and related fields.

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Über die Autorin bzw. den Autor

JEREMIAH D. HOGAN is Director of Physical Analysis Laboratories for Texas Instruments, Inc.

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Verlag
Wiley-VCH
Erscheinungsdatum
1997
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0471185981
ISBN 13 
9780471185987
Einband
Gebundene Ausgabe
Auflage
1
Anzahl der Seiten
200
Herausgeber
Hogan Jeremiah D.
Kontakt zum Hersteller
Wiley-VCH GmbH
product_safety@wiley.com

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Weinheim
69469
Deutschland