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A User's Guide to Vacuum Technology - Hardcover

 
9780471812425: A User's Guide to Vacuum Technology

Inhaltsangabe

Book by OHanlon John F

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Reseña del editor

This book introduces the reader to the theory and practice of modern vacuum technology, with applications. It focuses on the understanding, operation and selection of equipment for vacuum processes used in semiconductor, optical and related technologies. This second edition has new information on components, lubrication, pump fluids and other materials. Basic characteristics and operational procedures are given for each high-vacuum pumping system. The book will be of benefit to electrical and mechanical engineers and graduate students. The previous edition of this book was published in 1980.

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  • VerlagJohn Wiley & Sons Inc
  • Erscheinungsdatum1989
  • ISBN 10 0471812420
  • ISBN 13 9780471812425
  • EinbandTapa dura
  • SpracheEnglisch
  • Anzahl der Seiten512

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ISBN 10:  0471270520 ISBN 13:  9780471270522
Verlag: Wiley-Interscience, 2003
Hardcover

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