Laser Chemical Processing for Microelectronics (Cambridge Studies in Modern Optics, Band 7) - Hardcover

Ibbs, K. G.

Hardcover

ISBN 10: 0521322545 ISBN 13: 9780521322546

Verlag: Cambridge University Press, 1989

Inhaltsangabe

Nine contributors describe the application of laser processing techniques in the fabrication of semiconductor materials and devices for the microelectronics industry. Chapters focus on deposition, etching, doping, and direct write capability (pantography) beginning with a review of the current literature and understanding. Annotation copyright Book News, Inc. Portland, Or.

Details zur Ausgabe

• Verlag: Cambridge University Press
• Erscheinungsdatum: 1989
• Sprache: Englisch
• ISBN 10: 0521322545
• ISBN 13: 9780521322546
• Einband: Gebundene Ausgabe
• Anzahl der Seiten: 192
• Herausgeber: Osgood R. M.
• Kontakt zum Hersteller: Nicht verfügbar
• Verantwortliche Person: Avery; https://www.avery.fr/; ; chemin des peupliers 27; Dardilly; Frankreich