Chemical Vapor Deposition for Microelectronics: Principles, Technology and Applications - Hardcover

Sherman, Arthur

 
9780815511366: Chemical Vapor Deposition for Microelectronics: Principles, Technology and Applications
Hardcover
ISBN 10: 0815511361 ISBN 13: 9780815511366
Verlag: William Andrew, 1988

Inhaltsangabe

Presents an extensive, comprehensive study of chemical vapor deposition (CVD). Understanding CVD requires knowledge of fluid mechanics, plasma physics, chemical thermodynamics, and kinetics as well as homogenous and heterogeneous chemical reactions. This text presents these aspects of CVD in an integrated fashion, and also reviews films for use in integrated circuit technology.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
William Andrew
Erscheinungsdatum
1988
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0815511361
ISBN 13 
9780815511366
Einband
Gebundene Ausgabe
Anzahl der Seiten
226
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