Optical Laser Microlithography Vii/V2197 - Softcover

Brunner

9780819414922: Optical Laser Microlithography Vii/V2197

Softcover

ISBN 10: 0819414921 ISBN 13: 9780819414922

Verlag: SPIE Press, 1994

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Details zur Ausgabe

Verlag: SPIE Press
Erscheinungsdatum: 1994
Sprache: Englisch
ISBN 10: 0819414921
ISBN 13: 9780819414922
Einband: Taschenbuch
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Optical/Laser Microlithography VII, Proceedings of: Volume 2197, 2-4 March 1994, San Jose, California, SPIE.

Various

Verlag: The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, U.S.A., 1994

ISBN 10: 0819414921 ISBN 13: 9780819414922

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