Optical Characterization Techniques For High Perfo - Softcover

Chen

9780819422750: Optical Characterization Techniques For High Perfo

Softcover

ISBN 10: 0819422754 ISBN 13: 9780819422750

Verlag: SPIE Press, 1996

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Details zur Ausgabe

Verlag: SPIE Press
Erscheinungsdatum: 1996
Sprache: Englisch
ISBN 10: 0819422754
ISBN 13: 9780819422750
Einband: Taschenbuch
Anzahl der Seiten: 218
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Optical Characterization Techniques for High-Performance Microelectronic Device Manufacturing III - Volume 2877, Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 16-17 October 1996, Austin, Texas

DeBusk, Damon; Chen, Ray T. (Eds); et.al.

Verlag: The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, U.S.A., 1996

ISBN 10: 0819422754 ISBN 13: 9780819422750

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