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Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication Vol.1 (Press Monographs) - Hardcover

Rai-Choudhury, P.

 
9780819423788: Handbook of Microlithography, Micromachining and Microfabrication Vol.1 (Press Monographs)
Hardcover
ISBN 10: 0819423785 ISBN 13: 9780819423788
Verlag: SPIE Press, 1999
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Book by Harry J Levinson Mark A McCord Franco Cerrina Robe

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Reseña del editor:
The dynamic field of lithography demands an authoritative handbook for process development and production and to aid in the training of scientists and engineers. It contains process details, recipes, tables, charts, etc., and is useful as a reference book or as a textbook.

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  • VerlagSPIE Press
  • Erscheinungsdatum1999
  • ISBN 10 0819423785
  • ISBN 13 9780819423788
  • EinbandTapa dura
  • Anzahl der Seiten768

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Harry J. Levinson; Mark A. McCord; Franco Cerrina; Robert D. Allen; John G. Skinner; Andrew R. Neureuther; Martin C. Peckerar; F. Keith Perkins; Michael J. Rooks
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