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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
Verlag:
Society of Photo-Optical Instrum, 1997
ISBN 10: 0819423785
ISBN 13: 9780819423788
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
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Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
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Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
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Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39)
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Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
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Handbook of Microlithography, Micromachining, and Microfabrication. Volume 1: Microlithography (SPIE Press Monograph Vol. PM39) Harry J. Levinson; Mark A. McCord; Franco Cerrina; Robert D. Allen; John G. Skinner; Andrew R. Neureuther; Martin C. Peckerar; F. Keith Perkins; Michael J. Rooks and P. Rai-Choudhury
Verlag:
Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers, 1997
ISBN 10: 0819423785
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