Advances in Resist Technology and Processing XV - Softcover

9780819427786: Advances in Resist Technology and Processing XV

Softcover

ISBN 10: 0819427780 ISBN 13: 9780819427786

Verlag: SPIE Press, 1998

A review of advances in resist technology and processing. It contains 142 papers which cover areas such as ArF materials, DUV processing and Novolak-based processing.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag: SPIE Press
Erscheinungsdatum: 1998
Sprache: Englisch
ISBN 10: 0819427780
ISBN 13: 9780819427786
Einband: Taschenbuch
Anzahl der Seiten: 1500
Herausgeber: Conley Will
Kontakt zum Hersteller: Nicht verf�gbar
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Advances in Resist Technology and Processing XV

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ISBN 10: 0819427780 ISBN 13: 9780819427786

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