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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology (Plastics Engineering) - Hardcover
Inhaltsangabe
"Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes the most recent innovations in semiconductor manufacturing. Considers future trends in lithography and resist material technology. Reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials."
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Über die Autorin bzw. den Autor
Saburo Nonogaki, Ueno Takumi, Toshio Ito
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
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Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
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