Polymers for Microelectronics: Resists and Dielectrics (Acs Symposium Series, Band 537) - Hardcover

 
9780841227217: Polymers for Microelectronics: Resists and Dielectrics (Acs Symposium Series, Band 537)
Hardcover
ISBN 10: 0841227217 ISBN 13: 9780841227217
Verlag: American Chemical Society, 1994

Inhaltsangabe

Presents recent advances in chemically amplified resists for deep UV, electron beam, and X-ray advanced lithographic technologies. Discusses top surface imaging and dry development resists. Examines the fundamental chemistry of radiation-sensitive materials, including dielectric polymers for
integrated circuits and interconnect systems. Valuable reading for polymer chemists, radiation chemists, and materials scientists.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
American Chemical Society
Erscheinungsdatum
1994
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0841227217
ISBN 13 
9780841227217
Einband
Gebundene Ausgabe
Anzahl der Seiten
554
Herausgeber
Thompson Larry F., Willson C. Grant, Tagawa Seiichi
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
Buchpark GmbH
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