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Inhaltsangabe
Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control.
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Über die Autorin bzw. den Autor
James Moyne, Enrique del Castillo, Arnon M. Hurwitz
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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing
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Zustand: New. Offers analyses of run-to-run (R2R) control. Through manufacturing case studies, this book provides justification for and demonstrates the benefits of run-to-run control, and offers the know-how and direction for incorporating R2R control into readers' manufacturing capabilities. Editor(s): Moyne, James; del Castillo, Enrique; Hurwitz, A.M. Num Pages: 368 pages, 27 black & white tables. BIC Classification: TGP; TJFD5. Category: (P) Professional & Vocational. Dimension: 242 x 158 x 22. Weight in Grams: 630. . 2000. 1st Edition. hardcover. . . . . Bestandsnummer des Verkäufers V9780849311789
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Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing (Hardcover)
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Hardcover. Zustand: new. Hardcover. Run-to-Run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run-to-Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control. Offers analyses of run-to-run (R2R) control. Through manufacturing case studies, this book provides justification for and demonstrates the benefits of run-to-run control, and offers the know-how and direction for incorporating R2R control into readers' manufacturing capabilities. Shipping may be from multiple locations in the US or from the UK, depending on stock availability. Bestandsnummer des Verkäufers 9780849311789
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Hardback. Zustand: New. Run-to-run (R2R) control is cutting-edge technology that allows modification of a product recipe between machine "runs," thereby minimizing process drift, shift, and variability-and with them, costs. Its effectiveness has been demonstrated in a variety of processes, such as vapor phase epitaxy, lithography, and chemical mechanical planarization. The only barrier to the semiconductor industry's widespread adoption of this highly effective process control is a lack of understanding of the technology. Run to Run Control in Semiconductor Manufacturing overcomes that barrier by offering in-depth analyses of R2R control. Bestandsnummer des Verkäufers LU-9780849311789
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