An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Artech House Mems Library) - Hardcover

Maluf, Nadim

 
9780890065815: An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Artech House Mems Library)
Hardcover
ISBN 10: 0890065810 ISBN 13: 9780890065815
Verlag: ARTECH HOUSE INC, 1999

Inhaltsangabe

Here's a nontechnical introduction to the exciting field of micro-electromechanical systems (MEMS) that describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers, and glass and quartz substrates - as well as MEMS design and fabrication for nozzles, pressure and inertial sensors, valves, displays, and other applications.

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Über die Autorin bzw. den Autor

Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.

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Verlag
ARTECH HOUSE INC
Erscheinungsdatum
1999
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0890065810
ISBN 13 
9780890065815
Einband
Gebundene Ausgabe
Auflage
2
Anzahl der Seiten
292
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
preigu
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