An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering - Hardcover

Maluf, Nadim

 
9780890065815: An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering
Hardcover
ISBN 10: 0890065810 ISBN 13: 9780890065815
Verlag: Artech House Publishers, 1999

Inhaltsangabe

A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Über die Autorin bzw. den Autor

Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.

„Über diesen Titel“ kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
Artech House Publishers
Erscheinungsdatum
1999
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0890065810
ISBN 13 
9780890065815
Einband
Tapa dura
Auflage
2
Anzahl der Seiten
292
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
Nicht verfügbar