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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Artech House Mems Library) - Hardcover

Maluf, Nadim

 
9780890065815: An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering (Artech House Mems Library)
Hardcover
ISBN 10: 0890065810 ISBN 13: 9780890065815
Verlag: ARTECH HOUSE INC, 1999

Inhaltsangabe

Here's a nontechnical introduction to the exciting field of micro-electromechanical systems (MEMS) that describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers, and glass and quartz substrates - as well as MEMS design and fabrication for nozzles, pressure and inertial sensors, valves, displays, and other applications.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Über die Autorin bzw. den Autor

Nadim Maluf is head of research and development at NovaSensor in Fremont, California, and is Consulting Professor of Electrical Engineering at Stanford University.

„Über diesen Titel“ kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
ARTECH HOUSE INC
Erscheinungsdatum
1999
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0890065810
ISBN 13 
9780890065815
Einband
Gebundene Ausgabe
Auflage
2
Anzahl der Seiten
292
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
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