Computational Modeling in Semiconductor Processing (The Artech House Materials Science Library) - Hardcover

 
9780890067079: Computational Modeling in Semiconductor Processing (The Artech House Materials Science Library)
Hardcover
ISBN 10: 0890067074 ISBN 13: 9780890067079
Verlag: Artech House Publishers, 1995

Inhaltsangabe

This text provides coverage of the models, governing equations and numerical techniques suitable for process simulation. It concentrates on such areas as chemical vapour deposition, metal-organic chemical vapour deposition, plasma processing, rapid thermal processing and crystal growth, as well as defining the basic principles of transport phenomena, gas phase and surface reactions in electronics materials processing. In addition, it explains how to apply practical numerical techniques used in process simulation, and presents the numerical methods necessary to produce simulation codes.

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Verlag
Artech House Publishers
Erscheinungsdatum
1995
Sprache
Englisch
ISBN 10 
0890067074
ISBN 13 
9780890067079
Einband
Gebundene Ausgabe
Anzahl der Seiten
363
Herausgeber
Meyyappan M.
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
Nicht verfügbar