Optical Microlithography VI (Proceedings of Spie) - Softcover

9780892528073: Optical Microlithography VI (Proceedings of Spie)

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ISBN 10: 0892528079 ISBN 13: 9780892528073

Verlag: Society of Photo Optical, 1987

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Details zur Ausgabe

Verlag: Society of Photo Optical
Erscheinungsdatum: 1987
Sprache: Englisch
ISBN 10: 0892528079
ISBN 13: 9780892528073
Einband: Taschenbuch
Herausgeber: Stover Harry L.
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Optical Microlithography VI, Conference Proceedings, Volume 772, 4-5 March 1987, Santa Clara, California, SPIE.

Stover, Harry L. (Editor)

Verlag: SPIE PRESS-The International Society for Optical Engineering, Bellingham, WA, U.S.A., 1987

ISBN 10: 0892528079 ISBN 13: 9780892528073

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