Inhaltsangabe
Aimed at students of materials science and engineering, chemical engineering, physics, chemistry and electrical and computer engineering, this text covers the materials science of microelectronics. Tutorial sections cover special methods of bulk and interfacial characterization.
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The Materials Science of Microelectronics, 1st Ed.
Verlag:
Vch Pub, New York, New York, U.S.A., 1995
ISBN 10: 0895732807
ISBN 13: 9780895732804
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Materials Science of Microelectronics
Verlag:
Wiley-VCH Publishers Inc.,U.S., 1994
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