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Laser and Particle-Beam Chemical Processing for Microelectronics: Volume 101 (MRS Proceedings) - Hardcover
Inhaltsangabe
The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.
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- VerlagCambridge University Press
- Erscheinungsdatum1988
- ISBN 10 0931837693
- ISBN 13 9780931837692
- EinbandTapa dura
- SpracheEnglisch
- Anzahl der Seiten536
- HerausgeberEhrlich Daniel J., Higashi Gregg S., Oprysko Modest M.
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LASER AND PARTICLE-BEAM CHEMICAL PROCESSING FOR MICROELECTRONICS
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Laser and Particle-Beam Chemical Processing for Microelectronics: Volume 101 (MRS Proceedings)
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Cambridge University Press, 1988
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Laser and Particle-Beam Chemical Processing for Microelectronics: Volume 101 (MRS Proceedings)
Verlag:
Cambridge University Press, 1988
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