Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-k Dielectrics - 2004 (Mrs Proceedings) - Softcover
Inhaltsangabe
The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.
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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics 2004 (Paperback)
Verlag:
Cambridge University Press, Cambridge, 2014
ISBN 10: 1107409225
ISBN 13: 9781107409224
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Paperback. Zustand: new. Paperback. The scaling of device dimensions with a simultaneous increase in functional density has imposed tremendous challenges for materials, technology, integration and reliability of interconnects. To meet requirements of the ITRS roadmap, new materials are being introduced at a faster pace in all functions of multilevel interconnects. The issues addressed in this book cannot be dispelled as simply selecting a low-k material and integrating it into a copper damascene process. The intricacies of the back end for sub-100nm technology include novel processing of low-k materials, employing pore-sealing techniques and capping layers, introducing advanced dielectric and diffusion barriers, and developing novel integration schemes. This is in addition to concerns of performance, yield, and reliability appropriate to nanoscaled interconnects. Although many challenges continue to impede progress along the ITRS roadmap, the contributions in this book confront them head-on. It provides a scientific understanding of the issues and stimulate new approaches to advanced multilevel interconnects. The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners. This item is printed on demand. Shipping may be from multiple locations in the US or from the UK, depending on stock availability. Bestandsnummer des Verkäufers 9781107409224
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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics ? 2004 (MRS Proceedings)
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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics â" 2004
Print-on-DemandAnbieter: Revaluation Books, Exeter, Vereinigtes Königreich
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Paperback. Zustand: Brand New. 1st edition. 422 pages. 8.90x6.00x1.00 inches. In Stock. This item is printed on demand. Bestandsnummer des Verkäufers __1107409225
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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics ? 2004 (MRS Proceedings)
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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics 2004
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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-k Dielectrics - 2004 (MRS Proceedings)
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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics - 2004
Verlag:
Cambridge University Press, 2014
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ISBN 13: 9781107409224
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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics, 2004
Verlag:
Cambridge University Press CUP, 2014
ISBN 10: 1107409225
ISBN 13: 9781107409224
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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-K Dielectrics, 2004
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Materials, Technology and Reliability for Advanced Interconnects and Low-k Dielectrics - 2004 (MRS Proceedings)
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