Lithography for VLSI: VLSI Electronics Microstructure Science, Vol. 16 - Softcover

 
9781483204390: Lithography for VLSI: VLSI Electronics Microstructure Science, Vol. 16
Softcover
ISBN 10: 1483204391 ISBN 13: 9781483204390
Verlag: Academic Press, 2014
Verlag
Academic Press
Erscheinungsdatum
2014
Sprache
Englisch
ISBN 10 
1483204391
ISBN 13 
9781483204390
Einband
Tapa blanda
Anzahl der Seiten
374
Herausgeber
Einspruch Norman G.
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Verlag: Academic Press Inc, 1987
Hardcover