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Post-Processing Techniques for Integrated MEMS (Microelectromechanical Systems) - Hardcover

Sedky, Sherif

 
9781580539012: Post-Processing Techniques for Integrated MEMS (Microelectromechanical Systems)
Hardcover
ISBN 10: 1580539017 ISBN 13: 9781580539012
Verlag: Artech House Publishers, 2005

Inhaltsangabe

Sedky (physics, The American University, Cairo, Egypt) investigates the possibility of developing high-quality MEMS structural layers at temperatures compatible with the standard CMOS backend. He first reviews MEMS fabrication technologies, then defines the maximum thermal budget that can be accommodated by prefabricated standard electronics. He highlights the features of different materials suitable for MEMS, and discusses the effect of deposition conditions and the type of substrate on the physical properties of the different materials. Silicon germanium as a MEMS structural layer is also discussed in detail. Annotation ©2006 Book News, Inc., Portland, OR (booknews.com)

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Über die Autorin bzw. den Autor

Sherif Sedky is an associate professor in the physics department at The American University in Cairo.

„Über diesen Titel“ kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
Artech House Publishers
Erscheinungsdatum
2005
Sprache
Englisch
ISBN 10 
1580539017
ISBN 13 
9781580539012
Einband
Gebundene Ausgabe
Anzahl der Seiten
234
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Verantwortliche Person
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