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Inhaltsangabe
This book provides fundamental and practical information on all aspects of GaAs processing and gives pragmatic advice on cleaning and passivation, wet and dry etching and photolithography. Other topics covered include device performance for HBTs (Heterojunction Bipolar Transistors) and FETs (Field Effect Transistors), how these relate to processing choices, and special processing issues such as wet oxidation, which are especially important in optoelectronic devices. This book is suitable for both new and practising engineers.
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- VerlagInstitute of Electrical Engineers
- Erscheinungsdatum2023
- ISBN 10 1849190674
- ISBN 13 9781849190671
- EinbandTapa blanda
- SpracheEnglisch
- Anzahl der Seiten370
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Fabrication of GAAS Devices
Verlag:
Institution of Engineering and Technology, 2023
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