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Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces XII: Volume 219 (Solid State Phenomena, Volume 219) - Softcover
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- VerlagTrans Tech Publications Ltd
- Erscheinungsdatum2014
- ISBN 10 303835242X
- ISBN 13 9783038352426
- EinbandTapa blanda
- Anzahl der Seiten350
- HerausgeberMertens Paul, Meuris Marc, Heyns Marc
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