MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application - Softcover

 
9783039216345: MEMS/NEMS Sensors: Fabrication and Application
Softcover
ISBN 10: 3039216341 ISBN 13: 9783039216345
Verlag: MDPI AG, 2019

Inhaltsangabe

Due to the ever-expanding applications of micro/nano-electromechanical systems (NEMS/MEMS) as sensors and actuators, interest in their development has rapidly expanded over the past decade. Encompassing various excitation and readout schemes, the MEMS/NEMS devices transduce physical parameter changes, such as temperature, mass or stress, caused by changes in desired measurands, to electrical signals that can be further processed. Some common examples of NEMS/MEMS sensors include pressure sensors, accelerometers, magnetic field sensors, microphones, radiation sensors, and particulate matter sensors.

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Verlag
MDPI AG
Erscheinungsdatum
2019
Sprache
Englisch
ISBN 10 
3039216341
ISBN 13 
9783039216345
Einband
Tapa blanda
Anzahl der Seiten
242
Herausgeber
Koley Goutam
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
Nicht verfügbar