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Inhaltsangabe
Laser-Assisted Microtechnology deals with laser applications to a wide variety of problems in microelectronic design and fabrication. It covers micromachining of thin films, microprocessing of materials, maskless laser micropatterning and laser-assisted synthesis of thin-film systems. The monograph describes fundamental aspects and practical details of the technological processes as well as the optimum conditions for their realization.
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Laser-assisted microtechnology (Springer series in materials science)
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Laser-assisted microtechnology
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Springer-Verlag GmbH & Co. KG, 1994
ISBN 10: 3540539255
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