Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes - Softcover

Gatzen, Hans H.; Saile, Volker; Leuthold, Jürg

 
9783662443965: Micro and Nano Fabrication: Tools and Processes
Softcover
ISBN 10: 3662443961 ISBN 13: 9783662443965
Verlag: Springer, 2015

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Inhaltsangabe

Introduction-MEMS, a Historical Perspective.- Vacuum Technology.- Deposition Technologies.- Etching Technologies.- Doping and Surface Modification.- Lithography.- LIGA.- Nanofabrication by Self-Assembly.- Enabling Technologies I - Wafer Planarization and Bonding.- Enabling Technologies II - Contamination Control.- Device Fabrication - An Example.

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Verlag
Springer
Erscheinungsdatum
2015
Sprache
Englisch
ISBN 10 
3662443961
ISBN 13 
9783662443965
Einband
Taschenbuch
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
CMN Printpool Inh. Mathis Neumann
https://www.also.com/ec/cms5/en_6000/6000/index.jsp

Friedrich-Karl-Str. 9
Hamburg
Deutschland

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