Development, Manufacturing and Characterization of Stacked MESA Photodiodes - Softcover

Florek, Fabian

Softcover

ISBN 10: 373699351X ISBN 13: 9783736993518

Verlag: Cuvillier Verlag, 2016

Inhaltsangabe

Diese Arbeit untersucht das Konzept von gestapelten Fotodioden basierend auf einem MESA Prozess. Eine Fotodiode mit einer vertikalen MESA Struktur ist eine neue Herangehensweise für die Detektion von farbigem Licht. Die Ergebnisse dieser Arbeit zeigen, dass ein Sensor zur Farbdetektion, basierend auf einer MESA Struktur, möglich ist. Durch chemische Gasphasenabscheidungen wird ein n-i-p-n-i-p Stapel gewachsen, der sehr dünne p-n Übergänge besitzt. Danach werden die unterschiedlichen p-i-n Dioden mit Hilfe eines neu entwickelten Ätzprozesses separat kontaktiert. Eine freistehende MESA Struktur wird dadurch erzeugt, dass alle überflüssigen Teile der Struktur durch einen hochselektiven RIE Ätzprozess entfernt werden. Diese neu geschaffene Struktur wird dann mit einer Passivierung und Metallkontakten versehen. Dadurch ist es möglich, sehr dünne und separat kontaktierte p-n Übergänge zu schaffen. Die hergestellten Prototypen wurden einzeln und gleichzeitig spektral vermessen um eine spektrale Antwort der Dioden zu erhalten. Diese spektrale Antwort wurde durch Simulationen sowie theoretische Berechnungen bestätigt.

Details zur Ausgabe

• Verlag: Cuvillier Verlag
• Erscheinungsdatum: 2016
• Sprache: Englisch
• ISBN 10: 373699351X
• ISBN 13: 9783736993518
• Einband: Taschenbuch
• Auflage: 1
• Anzahl der Seiten: 154
• Kontakt zum Hersteller: GPSR Kontakt; info@cuvillier.de; ; Nonnenstieg 8; Göttingen; 37075; Deutschland