Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (Solid State Phenomena) - Softcover

 
9783908450405: Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (Solid State Phenomena)
Softcover
ISBN 10: 3908450403 ISBN 13: 9783908450405
Verlag: Trans Tech, 1999

Inhaltsangabe

The proceedings of the Fourth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS '98) cover all aspects of ultra-clean Si-technology: cleaning, contamination control, Si-surface chemistry and topography, and its relationship to device performance and process yield. New areas of concern include: cleaning at the interconnect level, resist strip and polymer removal (dry and wet), cleaning and contamination aspects of metallization, wafer backside cleaning and cleaning after Chemical-Mechanical-Polishing (CMP).

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Verlag
Trans Tech
Erscheinungsdatum
1999
Sprache
Englisch
ISBN 10 
3908450403
ISBN 13 
9783908450405
Einband
Taschenbuch
Anzahl der Seiten
316
Herausgeber
Heyns Marc, Meuris Marc, Mertens Paul
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
Nicht verfügbar

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