Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (Solid State Phenomena) - Softcover

 
9783908450573: Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (Solid State Phenomena)
Softcover
ISBN 10: 3908450578 ISBN 13: 9783908450573
Verlag: Trans Tech, 2000

Inhaltsangabe

Volume is indexed by Thomson Reuters CPCI-S (WoS).
The proceedings of the Fifth International Symposium on Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces cover all aspects of ultra-clean Si-technology: cleaning, contamination control, Si-surface chemistry and topography, and its relationship to device performance and process yield. New areas of concern include: cleaning at the interconnect level, resist strip and polymer removal (dry and wet), cleaning and contamination aspects of metallization, wafer backside cleaning and cleaning after Chemical-Mechanical-Polishing (CMP).

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Verlag
Trans Tech
Erscheinungsdatum
2000
Sprache
Englisch
ISBN 10 
3908450578
ISBN 13 
9783908450573
Einband
Taschenbuch
Anzahl der Seiten
340
Herausgeber
Heyns Marc, Meuris Marc, Mertens Paul
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
Nicht verfügbar

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