Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII (Solid State Phenomena) - Softcover

 
9783908451464: Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII (Solid State Phenomena)
Softcover
ISBN 10: 3908451469 ISBN 13: 9783908451464
Verlag: Trans Tech Publications Ltd, 2008

Inhaltsangabe

Volume is indexed by Thomson Reuters CPCI-S (WoS).
This collection of 86 peer-reviewed papers covers all aspects of the use of ultra-clean technology for large-scale integration on semiconductors, and cleaning and contamination-control in both front-end-of-line (FEOL) and back-end-of-line (BEOL) processing.

Die Inhaltsangabe kann sich auf eine andere Ausgabe dieses Titels beziehen.

Verlag
Trans Tech Publications Ltd
Erscheinungsdatum
2008
Sprache
Englisch
ISBN 10 
3908451469
ISBN 13 
9783908451464
Einband
Taschenbuch
Anzahl der Seiten
400
Herausgeber
Ltd Trans Tech Publications, Mertens Paul W., Meuris Marc, Heyns Marc
Kontakt zum Hersteller
Nicht verfügbar
Verantwortliche Person
Nicht verfügbar