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Inhaltsangabe
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This collection of 86 peer-reviewed papers covers all aspects of the use of ultra-clean technology for large-scale integration on semiconductors, and cleaning and contamination-control in both front-end-of-line (FEOL) and back-end-of-line (BEOL) processing.
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Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII. (=Solid State Phenomena ; 134).
Verlag:
Uetikon am See : Scitec, 2008
ISBN 10: 3908451469
ISBN 13: 9783908451464
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Ultra Clean Processing of Semiconductor Surfaces VIII. (=Solid State Phenomena ; 134). Mertens, Paul, Marc Meuris and Marc Heyns
Verlag:
Uetikon am See : Scitec, 2008
ISBN 10: 3908451469
ISBN 13: 9783908451464
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