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Etude du problème inverse en scatterométrie: Application de la scatterométrie spectroscopique à la métrologie dimensionnelle en microélectronique (OMN.UNIV.EUROP.) - Softcover
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La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'être mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure.
Biografía del autor:
Richard Quintanilha, docteur-ingénieur en Micro- et Nano-électronique, étude de physique à l'Ecole National Supérieure de Physique de Grenoble et à l'Université Joseph Fourier de Grenoble, chercheur en métrologie optique au NIST, Gaithersburg, MD USA.
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- VerlagOmniScriptum
- Erscheinungsdatum2010
- ISBN 10 6131527296
- ISBN 13 9786131527296
- EinbandTapa blanda
- Anzahl der Seiten272
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Etude du probleme inverse en scatterometrie
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Etude du problème inverse en scatterométrie
Verlag:
Éditions Universitaires Européennes Aug 2010
(2010)
ISBN 10: 6131527296
ISBN 13: 9786131527296
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Buchbeschreibung Taschenbuch. Zustand: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -La scatterométrie est une méthode de mesure non destructive basée sur la mesure et l'interprétation des phénomènes de diffraction des structures périodiques. Le traitement des données et l'extraction des paramètres géométriques des structures étudiées constituent le problème inverse à résoudre. L'utilisation d'algorithmes de minimisation locale permet d'effectuer l'ajustement des données expérimentales sous certaines hypothèses statistiques. L'ensemble des études théoriques et expérimentales a mis en évidence que la scatterométrie permet de mesurer les profiles de réseaux mono- et bi-périodiques compatibles avec les spécifications des futures circuits intégrés. Néanmoins, seuls certains paramètres géométriques de la structure diffractantes sont susceptibles d'être mesurés dans des conditions expérimentales standard. Cette méthode de mesure apparaît aussi être robuste vis-à-vis des défauts et des inhomogénéités du réseau et est bien corréléé avec les méthodes de mesure couramment utilisées dans en microélectronique (MEB, AFM). On peut noter que la précision des indices optiques des matériaux constitue l'une des clés de la fiabilité de la mesure. 272 pp. Französisch. Bestandsnummer des Verkäufers 9786131527296
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Etude du problème inverse en scatterométrie: Application de la scatterométrie spectroscopique à la métrologie dimensionnelle en microélectronique (Omn.Univ.Europ.) (French Edition)
Verlag:
Editions universitaires europeennes
(2010)
ISBN 10: 6131527296
ISBN 13: 9786131527296
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Etude du problème inverse en scatterométrie
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Éditions universitaires européennes
(2010)
ISBN 10: 6131527296
ISBN 13: 9786131527296
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Etude du problème inverse en scatterométrie : Application de la scatterométrie spectroscopique à la métrologie dimensionnelle en microélectronique
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Éditions Universitaires Européennes
(2010)
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