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Lithography, the fundamental fabrication process of semiconductor devices, plays a critical role in micro- and nano-fabrications and the revolution in high density integrated circuits. This book is the result of inspirations and contributions from many researchers worldwide. Although the inclusion of the book chapters may not be a complete representation of all lithographic arts, it does represent a good collection of contributions in this field. We hope readers will enjoy reading the book as much as we have enjoyed bringing it together. We would like to thank all contributors and authors of this book.
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Buch. Zustand: Neu. This item is printed on demand - it takes 3-4 days longer - Neuware -Lithography, the fundamental fabrication process of semiconductor devices, plays a critical role in micro- and nano-fabrications and the revolution in high density integrated circuits. This book is the result of inspirations and contributions from many researchers worldwide. Although the inclusion of the book chapters may not be a complete representation of all lithographic arts, it does represent a good collection of contributions in this field. We hope readers will enjoy reading the book as much as we have enjoyed bringing it together. We would like to thank all contributors and authors of this book. 678 pp. Englisch. Bestandsnummer des Verkäufers 9789533070643
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Buch. Zustand: Neu. Lithography | Michael Wang | Buch | 678 S. | Englisch | 2010 | IntechOpen | EAN 9789533070643 | Verantwortliche Person für die EU: BoD - Books on Demand, In de Tarpen 42, 22848 Norderstedt, info[at]bod[dot]de | Anbieter: preigu Print on Demand. Bestandsnummer des Verkäufers 116014924
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