Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1997: Volume 13 (MRS Conference Proceedings)

ISBN 10: 1558994122 ISBN 13: 9781558994126

Verlag: Materials Research Society, 2000

Sprache: Englisch

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Bibliografische Details

Titel: Advanced Metallization and Interconnect Systems for ULSI Applications in 1997: Volume 13 (MRS Conference Proceedings)
Verlag: Materials Research Society
Erscheinungsjahr: 2000
Sprache: Englisch
ISBN-10: 1558994122
ISBN-13: 9781558994126
Einband: Hardcover
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