Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing

Sprache: Englisch

Verlag: Springer Netherlands, 2010

9048146968 / 9789048146963

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Dieser Artikel ist ein Print on Demand Artikel und wird nach Ihrer Bestellung fuer Sie gedruckt. Proceedings of the NATO Advanced Study Institute, Acquafredda di Maratea, Italy, July 3-14, 1995 Rapid thermal and integrated processing is an emerging single-wafer technology in ULSI semiconductor manufacturing, electrical engineering, applied p.

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Titel
Advances in Rapid Thermal and Integrated Processing
Autor
Roozeboom, F.
Verlag
Springer Netherlands
Erscheinungsjahr
2010
Zustand
New
Einband
Softcover
Sprache
Englisch
ISBN-10
9048146968
ISBN-13
9789048146963

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