Atomic Layer Deposition

Sprache: Englisch

Verlag: MDPI AG, 2020

3039366521 / 9783039366521

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - Atomic layer deposition (ALD) is a thin film deposition process renowned for its ability to produce layers with unrivaled control of thickness and composition, conformability to extreme three-dimensional structures, and versatility in the materials it can produce. These range from multi-component compounds to elemental metals and structures with compositions that can be adjusted over the thickness of the film. It has expanded from a small-scale batch process to large scale production, also including continuous processing - known as spatial ALD. It has matured into an industrial technology essential for many areas of materials science and engineering from microelectronics to corrosion protection. Its attributes make it a key technology in studying new materials and structures over an enormous range of applications. This Special Issue contains six research articles and one review article that illustrate the breadth of these applications from energy storage in batteries or supercapacitors to catalysis via x-ray, UV, and visible optics.

Bestandsnummer des Verkäufers 9783039366521

Titel
Atomic Layer Deposition
Verlag
MDPI AG
Veröffentlichungsjahr
2020
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
3039366521
ISBN-13
9783039366521
Artikelgewicht
555 Gramm
Abmessungen
250x175x14 mm

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