CHARACTERIZATION OF PLASMA-ENHANCED CVD PROCESSES

GERALD LUCOVSKY, NORTH CAROLINA STATE UNIVERSITYDALE E. IBBOTSON, AT&T BELL LABORATORIES, NEW JERSEYDENNIS W. HESS, UNIVERSITY OF CALIFORNIA, BERKELEY

ISBN 10: 1558990534 ISBN 13: 9781558990531

Verlag: Cambridge University Press, 1990

Sprache: Englisch

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Titel

CHARACTERIZATION OF PLASMA-ENHANCED CVD PROCESSES

Verlag

Cambridge University Press

Erscheinungsjahr

1990

Sprache

Englisch

ISBN-10

1558990534

ISBN-13

9781558990531

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Hardcover

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The MRS Symposium Proceeding series is an internationally recognised reference suitable for researchers and practitioners.

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