Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process - Proceedings of the Second International Conference on Cat-CVD (Hot-Wire CVD) Process, Denver, Colorado, September 10-13, 2002

Conde, Joao P. with A. Harv Mahan & Hideki Matsumara, Editors; Ruud E.I. Schropp, Chief Editor; Markus B. Schubert, Vice Chief Editor

Verlag: Elsevier, 2003. [, 2003
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