Chemical-Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Polymers and Organosilicate Glasses
Sprache: Englisch
Verlag: Springer, 2014
- Softcover
- Neu

Anbieter: Books Puddle, Woodside, NY, USABooks Puddle
Verkäufer:in bei AbeBooks seit 22. November 2018
Zustand: Neu
EUR 229,69
Anzahl: 4 verfügbar
In den WarenkorbArtikelbeschreibung des Verkäufers
pp. 248.
Bestandsnummer des Verkäufers 26359055122
- Titel
- Chemical-Mechanical Polishing of Low Dielectric Constant Polymers and Organosilicate Glasses
- Autor
- Ronald J. Gutmann William N. Gill Christopher Lyle Borst
- Verlag
- Springer
- Erscheinungsjahr
- 2014
- Zustand
- New
- Einband
- Softcover
- Sprache
- Englisch
- ISBN-10
- 1461354242
- ISBN-13
- 9781461354246
As semiconductor manufacturers implement copper conductors in advanced interconnect schemes, research and development efforts shift toward the selection of an insulator that can take maximum advantage of the lower power and faster signal propagation allowed by copper interconnects. One of the main challenges to integrating a low-dielectric constant (low-kappa) insulator as a replacement for silicon dioxide is the behavior of such materials during the chemical-mechanical planarization (CMP) process used in Damascene patterning. Low-kappa dielectrics tend to be softer and less chemically reactive than silicon dioxide, providing significant challenges to successful removal and planarization of such materials.
The focus of this book is to merge the complex CMP models and mechanisms that have evolved in the past decade with recent experimental results with copper and low-kappa CMP to develop a comprehensive mechanism for low- and high-removal-rate processes. The result is a more in-depth look into the fundamental reaction kinetics that alter, selectively consume, and ultimately planarize a multi-material structure during Damascene patterning.
„Inhaltsangabe“ gehört möglicherweise zu einer anderen Auflage dieses Titels.
Books Puddle
Woodside, NY, USA
Verkäufer:in bei AbeBooks seit 22. November 2018
Versandkosten innerhalb von USA
| Artikel | 12 bis 19 Werktage | 12 bis 14 Werktage |
|---|---|---|
| Erster Artikel | EUR 3,56 | EUR 6,23 |
Zahlungsarten
Shopbeschreibung
I mainly carry imported books from South East Asia / South Asia for readers of all Age Groups.
Spezialisierung
South Asian and South East Asian Culture, Religion, Art etcUnternehmensdaten der Verkäuferin bzw. des Verkäufers
PLETOS INC
6931 51st Avenue, WOODSIDE
Woodside, NY USA 11377
Verkaufsbedingungen
We accept return for those books which are received damamged. Though we take appropriate care in packaing to avoid such situation.
Widerrufsrecht
Wenn Sie Verbraucher sind, können Sie gemäß den folgenden Bestimmungen vom Vertrag zurücktreten. Verbraucher ist jede natürliche Person, die zu Zwecken handelt, die nicht ihrer kaufmännischen, gewerblichen, künstlerischen oder beruflichen Tätigkeit zugerechnet werden können.
Informationen zum Widerrufsrecht
Gesetzliches Widerrufsrecht
Sie haben das Recht, den Vertrag innerhalb von 14 Tagen ohne Angabe von Gründen zu widerrufen.
Die Widerrufsfrist beträgt 14 Tage ab dem Tag, an dem Sie oder ein von Ihnen benannter Dritter, der nicht der Transporteur ist, die letzte Ware oder den letzten Posten oder das letzte Exemplar in Besitz genommen hat.
Um das Widerrufsrecht auszuüben, füllen Sie auf unserer Website unter „Meine Einkäufe" in „Mein Nutzerkonto" eine eindeutige Erklärung elektronisch aus und senden Sie sie ab. Wir werden Ihnen unverzüglich eine Bestätigung über den Eingang eines solchen Widerrufs auf einem dauerhaften Datenträger (z. B. per E-Mail) übermitteln.
Um die Widerrufsfrist einzuhalten, reicht es aus, dass Sie Ihre Mitteilung über die Ausübung des Widerrufsrechts vor Ablauf der Widerrufsfrist absenden.
Auswirkungen des Widerrufs
Wenn Sie diesen Vertrag widerrufen, erstatten wir Ihnen alle Zahlungen, die wir von Ihnen erhalten haben, einschließlich der Lieferkosten (mit Ausnahme der zusätzlichen Kosten, die entstehen, wenn Sie eine andere Art der Lieferung als die von uns angebotene günstigste Standardlieferung gewählt haben).
Wir können einen Abzug von der Rückerstattung für den Wertverlust der gelieferten Waren vornehmen, wenn der Verlust auf eine unnötige Behandlung durch Sie zurückzuführen ist.
Wir werden die Rückerstattung unverzüglich und nicht später als 14 Tage nach dem Tag vornehmen, an dem wir über Ihre Entscheidung, diesen Vertrag zu widerrufen, informiert wurden.
Für die Rückerstattung verwenden wir dasselbe Zahlungsmittel, das Sie für die ursprüngliche Transaktion verwendet haben, es sei denn, Sie haben ausdrücklich etwas anderes vereinbart; in keinem Fall werden Ihnen aufgrund einer solchen Rückerstattung Gebühren berechnet.
Wir können die Rückzahlung verweigern, bis wir die Waren wieder zurückerhalten haben oder Sie den Nachweis erbracht haben, dass Sie die Waren zurückgesandt haben, je nachdem, was eher eintritt.
Sie müssen die Waren unverzüglich und in jedem Fall spätestens 14 Tage ab dem Tag, an dem Sie uns über den Widerruf dieses Vertrags unterrichten, an Books Puddle, Woodside, New York, U.S.A., zurücksenden oder übergeben. Die Frist ist eingehalten, wenn Sie die Ware vor Ablauf der Frist von 14 Tagen zurücksenden. Sie müssen die direkten Kosten der Rücksendung der Waren tragen. Sie haften nur für einen etwaigen Wertverlust der Waren, der auf eine Behandlung zurückzuführen ist, die nicht zur Prüfung der Art, Eigenschaften und Funktionsweise der Waren erforderlich ist.
Ausnahmen vom Widerrufsrecht
Das Widerrufsrecht gilt nicht für:
- Die Lieferung von Zeitungen, Zeitschriften oder Magazinen mit Ausnahme von Abonnementverträgen; und
- Die Lieferung digitaler Inhalte, die nicht auf einem physischen Medium (z. B. auf einer CD oder DVD) geliefert werden, wenn Sie bei Ihrer Bestellung akzeptiert haben, dass wir mit der Lieferung beginnen können und dass Sie nach Beginn der Lieferung den Vertrag nicht mehr widerrufen können.