Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies

Sprache: Englisch

Verlag: Springer Okt 2012, 2012

9401052034 / 9789401052030

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Neuware - Semiconductors lie at the heart of some of the most important industries and technologies of the twentieth century. The complexity of silicon integrated circuits is increasing considerably because of the continuous dimensional shrinkage to improve efficiency and functionality. This evolution in design rules poses real challenges for the materials scientists and processing engineers. Materials, defects and processing now have to be understood in their totality. World experts discuss, in this volume, the crucial issues facing lithography, ion implication and plasma processing, metallization and insulating layer quality, and crystal growth. Particular emphasis is placed upon silicon, but compound semiconductors and photonic materials are also highlighted. The fundamental concepts of phase stability, interfaces and defects play a key role in understanding these crucial issues. These concepts are reviewed in a crucial fashion.

Bestandsnummer des Verkäufers 9789401052030

Titel
Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies
Autor
Emanuele Rimini
Verlag
Springer Okt 2012
Erscheinungsjahr
2012
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
9401052034
ISBN-13
9789401052030
Artikelgewicht
889 Gramm
Abmessungen
240x160x31 mm

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