Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies

Sprache: Englisch

Verlag: Springer Netherlands, Springer Netherlands Okt 1992, 1992

0792320034 / 9780792320036

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This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -Semiconductors lie at the heart of some of the most important industries and technologies of the twentieth century. The complexity of silicon integrated circuits is increasing considerably because of the continuous dimensional shrinkage to improve efficiency and functionality. This evolution in design rules poses real challenges for the materials scientists and processing engineers. Materials, defects and processing now have to be understood in their totality. World experts discuss, in this volume, the crucial issues facing lithography, ion implication and plasma processing, metallization and insulating layer quality, and crystal growth. Particular emphasis is placed upon silicon, but compound semiconductors and photonic materials are also highlighted. The fundamental concepts of phase stability, interfaces and defects play a key role in understanding these crucial issues. These concepts are reviewed in a crucial fashion.Springer Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg 562 pp. Englisch.…

Bestandsnummer des Verkäufers 9780792320036

Titel
Crucial Issues in Semiconductor Materials and Processing Technologies
Autor
S. Coffa
Verlag
Springer Netherlands, Springer Netherlands Okt 1992
Erscheinungsjahr
1992
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
0792320034
ISBN-13
9780792320036
Artikelgewicht
1.001 Gramm
Abmessungen
241x160x35 mm

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