Directed Self-Assembly of Block Co-Polymers for Nano-Manufacturing

Sprache: Englisch

Verlag: Elsevier Science, 2015

0081002505 / 9780081002506

Serie: Buch 89 von 203 - Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials

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nach der Bestellung gedruckt Neuware - Printed after ordering - The directed self-assembly (DSA) method of patterning for microelectronics uses polymer phase-separation to generate features of less than 20nm, with the positions of self-assembling materials externally guided into the desired pattern. Directed self-assembly of Block Co-polymers for Nano-manufacturing reviews the design, production, applications and future developments needed to facilitate the widescale adoption of this promising technology. Beginning with a solid overview of the physics and chemistry of block copolymer (BCP) materials, Part 1 covers the synthesis of new materials and new processing methods for DSA. Part 2 then goes on to outline the key modelling and characterization principles of DSA, reviewing templates and patterning using topographical and chemically modified surfaces, line edge roughness and dimensional control, x-ray scattering for characterization, and nanoscale driven assembly. Finally, Part 3 discusses application areas and related issues for DSA in nano-manufacturing, including for basic logic circuit design, the inverse DSA problem, design decomposition and the modelling and analysis of large scale, template self-assembly manufacturing techniques.

Bestandsnummer des Verkäufers 9780081002506

Titel
Directed Self-Assembly of Block Co-Polymers for Nano-Manufacturing
Autor
Roel Gronheid
Verlag
Elsevier Science
Veröffentlichungsjahr
2015
Zustand
Neu
Einband
Buch
Sprache
Englisch
ISBN-10
0081002505
ISBN-13
9780081002506
Artikelgewicht
699 Gramm
Abmessungen
231x152x23 mm
Serie
Buch 89 von 203: Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials

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