Electroceramic-Based MEMS : Fabrication-Technology and Applications

Sprache: Englisch

Verlag: Springer, 2010

1441936041 / 9781441936042

Serie: Buch 4 von 13 - Electronic Materials: Science & Technology

Anbieter: AHA-BUCH GmbH, Einbeck, DeutschlandAHA-BUCH GmbH

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Druck auf Anfrage Neuware - Printed after ordering - The book is focused on the use of functional oxide and nitride films to enlarge the application range of MEMS (microelectromechanical systems), including micro-sensors, micro-actuators, transducers, and electronic components for microwaves and optical communications systems. Applications, emerging applications, fabrication technology and functioning issues are presented and discussed. The book covers the following topics:Part A: Applications and devices with electroceramic-based MEMS:Chemical microsensors Microactuators based on thin films Micromachined ultrasonic transducers Thick-film piezoelectric and magnetostrictive devices Pyroelectric microsystems RF bulk acoustic wave resonators and filters High frequency tunable devicesMEMS for optical functionality Part B: Materials, fabrication technology, and functionality:Ceramic thick films for MEMS Piezoelectric thin films for MEMSMaterials and technology in thin films for tunable high frequency devices Permittivity, tunability and loss in ferroelectrics for reconfigurable high frequency electronics Microfabrication of piezoelectric MEMS Nano patterning methods for electroceramicsSoft lithography emerging techniques The book is addressed to engineers, scientists and researchers of various disciplines, device engineers, materials engineers, chemists, physicists and microtechnologists who are working and/or interested in this fast growing and highly promising field.The publication of this book follows a Special Issue on electroceramic-based MEMS that was published in the Journal of Electroceramics at the beginning of 2004. The ten invited papers of that special issue were adapted by the authors into chapters of the present book and five additional chapters were added.…

Bestandsnummer des Verkäufers 9781441936042

Titel
Electroceramic-Based MEMS : Fabrication-Technology and Applications
Autor
Nava Setter
Verlag
Springer
Erscheinungsjahr
2010
Zustand
Neu
Einband
Taschenbuch
Sprache
Englisch
ISBN-10
1441936041
ISBN-13
9781441936042
Artikelgewicht
645 Gramm
Abmessungen
235x155x24 mm
Serie
Buch 4 von 13: Electronic Materials: Science & Technology

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