Electroceramic-Based MEMS
Sprache: Englisch
Verlag: Springer US, Humana Dez 2010, 2010
Serie: Buch 4 von 13 - Electronic Materials: Science & Technology
- Softcover
- Neu

Anbieter: buchversandmimpf2000, Emtmannsberg, BAYE, Deutschlandbuchversandmimpf2000
Verkäufer:in bei AbeBooks seit 23. Januar 2017
Zustand: Neu
EUR 213,99
Anzahl: 1 verfügbar
In den WarenkorbArtikelbeschreibung des Verkäufers
This item is printed on demand - Print on Demand Titel. Neuware -The concept of micromachining of silicon to form micron-scale structures such as cantilevers, free-standing bridges, membranes, and channels and its combination with microelectronics fabrication methodology and technology has resulted in the em- gence of a new category of functional systems called MEMS (microelectomechanical systems). MEMS are miniature systems containing devices or arrays of devices that combine electronics with other components such as sensors, transducers and actuators, and are fabricated by IC (Integrated Circuits) batch processing techniques. The eld of electroceramics (inorganic, non-metallic materials, often polycr- talline, with useful electrical and other functional properties) provides a vast number of active materials for sensors, actuators, and electrical and electronic components. Electroceramic thin lms can add therefore many useful functionalities to MEMS. At the same time, because the fabrication of ceramics is commonly a high temperature process that often necessitates an oxygen containing atmosphere, because most cer- ics are inert and corrosion resistant, and because the properties of electroceramics are verysensitivetotheprocessingconditions,theintegrationofelectroceramiclayersonto silicon or other substrates and their patterning into functional elements need complex technologies that are still under development. This situation is re ected in the current positionofelectroceramic-basedMEMSinthemarket:Whilethepotentialisexcellent, rst devices are being commercialized only these present days.Springer-Verlag GmbH, Tiergartenstr. 17, 69121 Heidelberg 428 pp. Englisch.…
Bestandsnummer des Verkäufers 9781441936042
- Titel
- Electroceramic-Based MEMS
- Autor
- Nava Setter
- Verlag
- Springer US, Humana Dez 2010
- Erscheinungsjahr
- 2010
- Zustand
- Neu
- Einband
- Taschenbuch
- Sprache
- Englisch
- ISBN-10
- 1441936041
- ISBN-13
- 9781441936042
- Artikelgewicht
- 645 Gramm
- Abmessungen
- 235x155x24 mm
- Serie
- Buch 4 von 13: Electronic Materials: Science & Technology
„Inhaltsangabe“ gehört möglicherweise zu einer anderen Auflage dieses Titels.
Von der hinteren Coverseite
The book is focused on the use of functional oxide and nitride films to enlarge the application range of MEMS (microelectromechanical systems), including micro-sensors, micro-actuators, transducers, and electronic components for microwaves and optical communications systems. Applications, emerging applications, fabrication technology and functioning issues are presented and discussed. The book covers the following topics:
Part A: Applications and devices with electroceramic-based MEMS:
Chemical microsensors
Microactuators based on thin films
Micromachined ultrasonic transducers
Thick-film piezoelectric and magnetostrictive devices
Pyroelectric microsystems
RF bulk acoustic wave resonators and filters
High frequency tunable devices
MEMS for optical functionality
Part B: Materials, fabrication technology, and functionality:
Ceramic thick films for MEMS
Piezoelectric thin films for MEMS
Materials and technology in thin films for tunable high frequency devices
Permittivity, tunability and loss in ferroelectrics for reconfigurable high frequency electronics
Microfabrication of piezoelectric MEMS
Nano patterning methods for electroceramics
Soft lithography emerging techniques
The book is addressed to engineers, scientists and researchers of various disciplines, device engineers, materials engineers, chemists, physicists and microtechnologists who are working and/or interested in this fast growing and highly promising field.
The publication of this book follows a Special Issue on electroceramic-based MEMS that was published in the Journal of Electroceramics at the beginning of 2004. The ten invited papers of that special issue were adapted by the authors into chapters of the present book and five additional chapters were added.
„Über diesen Titel“ gehört möglicherweise zu einer anderen Auflage dieses Titels.
buchversandmimpf2000
Emtmannsberg, BAYE, Deutschland
Verkäufer:in bei AbeBooks seit 23. Januar 2017
Versandkosten von Deutschland nach USA
| Artikel | 60 bis 60 Werktage | 60 bis 60 Werktage |
|---|---|---|
| Erster Artikel | EUR 60,00 | EUR 75,00 |
Zahlungsarten
- PayPal
- Vorauskasse
Shopbeschreibung
Impressum Thorsten Retsch Buchversand Mimpf2000 Oberölschnitz 16 95517 Emtmannsberg Deutschland Telefon: 09209-2023188 Email: mimpf2000@online.de USt-ID-Nr.: DE 235096871 Wir führen gebrauchte Bücher aus allen Sparten der Literatur
Spezialisierung
Modernes Antiquariat - Bücher von 1960 bis heuteUnternehmensdaten der Verkäuferin bzw. des Verkäufers
buchversandmimpf2000
Deutschland
Verkaufsbedingungen
Impressum
Gesetzliche Anbieterkennung:
Thorsten Retsch
Buchversand Mimpf2000
Oberölschnitz 16
95517 Emtmannsberg
Deutschland
Telefon: 092092023188
E-Mail: order@buchversandmimpf2000.de
USt-IdNr.: DE 235096871
Alternative Streitbeilegung:
Die Europäische Kommission stellt eine Plattform für die außergerichtliche Online-Streitbeilegung (OS-Plattform) bereit, aufrufbar unter http://ec.europa.eu/odr.
Widerrufsrecht
Wenn Sie Verbraucher sind, können Sie gemäß den folgenden Bestimmungen vom Vertrag zurücktreten. Verbraucher ist jede natürliche Person, die zu Zwecken handelt, die nicht ihrer kaufmännischen, gewerblichen, künstlerischen oder beruflichen Tätigkeit zugerechnet werden können.
Informationen zum Widerrufsrecht
Gesetzliches Widerrufsrecht
Sie haben das Recht, den Vertrag innerhalb von 14 Tagen ohne Angabe von Gründen zu widerrufen.
Die Widerrufsfrist beträgt 14 Tage ab dem Tag, an dem Sie oder ein von Ihnen benannter Dritter, der nicht der Transporteur ist, die letzte Ware oder den letzten Posten oder das letzte Exemplar in Besitz genommen hat.
Um das Widerrufsrecht auszuüben, füllen Sie auf unserer Website unter „Meine Einkäufe" in „Mein Nutzerkonto" eine eindeutige Erklärung elektronisch aus und senden Sie sie ab. Wir werden Ihnen unverzüglich eine Bestätigung über den Eingang eines solchen Widerrufs auf einem dauerhaften Datenträger (z. B. per E-Mail) übermitteln.
Um die Widerrufsfrist einzuhalten, reicht es aus, dass Sie Ihre Mitteilung über die Ausübung des Widerrufsrechts vor Ablauf der Widerrufsfrist absenden.
Auswirkungen des Widerrufs
Wenn Sie diesen Vertrag widerrufen, erstatten wir Ihnen alle Zahlungen, die wir von Ihnen erhalten haben, einschließlich der Lieferkosten (mit Ausnahme der zusätzlichen Kosten, die entstehen, wenn Sie eine andere Art der Lieferung als die von uns angebotene günstigste Standardlieferung gewählt haben).
Wir können einen Abzug von der Rückerstattung für den Wertverlust der gelieferten Waren vornehmen, wenn der Verlust auf eine unnötige Behandlung durch Sie zurückzuführen ist.
Wir werden die Rückerstattung unverzüglich und nicht später als 14 Tage nach dem Tag vornehmen, an dem wir über Ihre Entscheidung, diesen Vertrag zu widerrufen, informiert wurden.
Für die Rückerstattung verwenden wir dasselbe Zahlungsmittel, das Sie für die ursprüngliche Transaktion verwendet haben, es sei denn, Sie haben ausdrücklich etwas anderes vereinbart; in keinem Fall werden Ihnen aufgrund einer solchen Rückerstattung Gebühren berechnet.
Wir können die Rückzahlung verweigern, bis wir die Waren wieder zurückerhalten haben oder Sie den Nachweis erbracht haben, dass Sie die Waren zurückgesandt haben, je nachdem, was eher eintritt.
Sie müssen die Waren unverzüglich und in jedem Fall spätestens 14 Tage ab dem Tag, an dem Sie uns über den Widerruf dieses Vertrags unterrichten, an buchversandmimpf2000, Emtmannsberg, BAYE, Germany, +49 09209-2023188, zurücksenden oder übergeben. Die Frist ist eingehalten, wenn Sie die Ware vor Ablauf der Frist von 14 Tagen zurücksenden. Sie müssen die direkten Kosten der Rücksendung der Waren tragen. Sie haften nur für einen etwaigen Wertverlust der Waren, der auf eine Behandlung zurückzuführen ist, die nicht zur Prüfung der Art, Eigenschaften und Funktionsweise der Waren erforderlich ist.
Ausnahmen vom Widerrufsrecht
Das Widerrufsrecht gilt nicht für:
- Die Lieferung von Zeitungen, Zeitschriften oder Magazinen mit Ausnahme von Abonnementverträgen; und
- Die Lieferung digitaler Inhalte, die nicht auf einem physischen Medium (z. B. auf einer CD oder DVD) geliefert werden, wenn Sie bei Ihrer Bestellung akzeptiert haben, dass wir mit der Lieferung beginnen können und dass Sie nach Beginn der Lieferung den Vertrag nicht mehr widerrufen können.
Versandbedingungen
Soweit in der Artikelbeschreibung keine andere Frist angegeben ist, erfolgt die Lieferung der Ware innerhalb von 3-5 Werktagen nach Vertragsschluss, bei Vorauszahlung erst nach Eingang des vollständigen Kaufpreises und der Versandkosten. Alle Preise inkl. MwSt.